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全自动化生产,经过镀膜之后的晶圆,进入了曝光台上,曝光系统两个光系统多组物镜组折射之后高频光,用肉眼所看不到的方式开始在晶圆上面进行加工。
在这个过程之中。
传感器系统从多个方位对晶圆进行高度自动化同步,并将实时数据传回中控,可以精准到纳米以下对晶圆进行加工。
光刻机就是在晶圆上制造出大规模集成电路。
时间在所有人屏住呼吸之中悄然而过。
人不多。
但所有人都目光灼热,屏住呼吸的盯着工作台,深怕自己的呼吸影响到光的方向。
手机soc芯片的晶片只有拇指盖一半大小。
而晶圆为最常用的半导体材料,按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸,12英寸,18英寸。
自然,这需要根据需求,也就是集成电路设计数量和光刻机常规加工精度来综合定型晶圆大小尺寸。
此时工作台上加工的是一个12英寸晶圆。
三分钟时间过去。
只见工作台上的曝光系统停止了工作。
经过最后一层电镀工艺之后。
一片12英寸的晶圆体就正式的完成。
寂静。
无声。
几个院士激动而颤抖的盯着已经完成加工的晶圆。
已经不知道该干什么了。
只剩下无限激动。
而就在短暂的沉浸三秒之后。
科学院陈院士颤抖了起来,忍不住惊叹的上前三步,站在最靠近工作台的位置,不敢相信的道:“5nm波长的极紫外光,这究竟是怎么做到的。”
“究竟是以什么样的物镜组合方式,才能够将如此精细的高频光反射为所需要的光图。”
“多位传感器,多层组合之下,这个误差好像跟别的不一样。”
“不敢想象,这样的制作工艺,会出现在我们龙国!”
陈院士激动了,两只手颤抖的抚摸着真空外罩,对里面的工作台望眼欲穿。
而后!
猛然间。
陈院士转身,激动的跑在了云凌峰的面前,无比惊叹的道:“云总,毫不客气的说,这台光刻机,就算是给荷包蛋集团三十年的时间,也未必能够越!”
“我……”陈院士激动着,哗啦一下,就深深的对着云凌峰鞠躬,眼神之中流露出激动的泪光。
“万千感激,只愿我龙国,成为真正的科技强国。”
一切尽在不言中。
云凌峰急忙上前扶起道:“这,是我们共同的愿景啊!”
张帆默默的拿出笔记本,将这幅画面记录了下来。
“哈哈哈,好一个是我们共同的愿景。”半导体徐院士紧随陈院士,对云凌峰只剩下无限的崇拜。
研究院刘院士更是激动的道:“这是我们自主生产的光刻机,这其中,没有用到歪果仁任何一组零器件!”
“这,是创造龙国历史的壮举!”
八零八研究院李院士也跟着激动走来,手中捧着成品晶圆,笑呵呵道:“这,才是我们龙国的希望之光。”
“毫不客气的说,云总比那些年收入几千万的网红,明星,不知道要强多少倍。”
科学院陈院士直接不满的怒道:“李老,你这话就不对了,你将云总跟那些网红明显比,有可比性吗?”
“毫不客气的说,网红不过是大家茶余饭后的调节剂。”
“一切尽在不言中。”
(本章完)
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