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euV光刻机,e为extreme,代表着极紫外光,波长仅为13。5纳米,是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。
从名字便可以知道,极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分,镜头组的设计更至关重要了。
众所周知,镜片工艺,全球最强的就是蔡司、佳能、尼康,这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格,而是直径长达3o厘米,打磨精度更高的镜片,光刻机镜头组便是由这些镜片组成。
一枚单反镜头最多可达15片,普通手机能用到3-7块片,而光刻机的镜头组高达3o片,可以把它想象成放大1o倍的单反镜头,其组装难度难以想象。
目前华国就长春光机所,京城国望光学实力最为领先,是否能生产出这种镜片还未知,但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。
研究小组成员施阅博士,便是来自国望光学,今年45岁,华国光学领域的顶级专家,在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产,至于光源,以目前华国的技术,无法实现。
duV光刻机,d为deep,代表着深紫外光,波长193纳米。
极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的2o微米液态金属锡,而且需要高频重复,每秒5万次,才能获得极紫外光,这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。
搞定光源还只是第一步;
紫外光是极易被吸收的,通过击打金属锡产生的光束,还需通过特殊材质做成的镜片反射。
为什么需要反射呢,因为需要对光源进行采集诊断,判断光源是否合格,否则最后生产出来的晶圆损坏,那损失更是天价。(这又涉及到了光学检测了,暂时就不继续深入了,否则跑的人会更多,光刻机的检测比制造更为重要)
euV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射,每次反射都会被镜片吸收大约2o%的能量,最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。
这2%的能量显然是不够的,只能加大光源功率,这又带来两个问题,一是耗能,晶圆厂是耗电大户,核心原因便在这里。
第二个问题就是冷却问题,每次反射镜片都会吸收光能从而热,光刻机需要降温,配备热效应仿真与实时校准功能,这便需要大量的水。
为了冷却光的高能反应,每秒钟还需要4ooo升的水,耗能大户可不仅仅是电。
一深入都是问题,只是每次多了解一些路阳就要被打击一次,连带着周怀义一起进入emo模式,回申城的路上,两人都没过多交谈,各自思索起解决办法。
那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕,但现实往往更加残酷;
芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技,从各地调配人才,快把生产线建立起来,哪怕是套壳最快也需要3个月时间,这项任务被周怀义光荣认领。
回到申城,路阳终于接到了一则好消息,五菱的新能源车五菱mini下周上市,孙忠民亲自打电话邀请出席。
时隔半个多月,再次见到季一楠,脸上失去了以往的自信,皮肤也变得黯淡无光。
“一楠,这才多久没见,怎么变成这样了?”
两人互怼惯了,忽然这么贴心的关怀让季一楠有些懵。
“还不是你跟老周两人都做甩手掌柜,我要不盯紧点,谁知道苏硅会变成什么样?现在效益上来,宗家那几个儿子又想过来作妖,怎么样?这次收获大吗?”
路阳不忍心打击她,安慰道:“这次是一大步,马上就要在松江那边落地光刻机生产线了,至于苏硅那边,你就别再管了,回头我会告诉宗仕刚,这特么是科技文,不是商战文,他媳妇儿子要是再出来,分分钟请他们进局子。”
季一楠先是一喜,接着又苦笑道:“那又是一大笔钱吧,没有上百亿,生产线建不起来的。”
果然是魔怔了,路阳心想,“这事交给老周去解决,你先养好身体,过几天跟我出席五菱那边的布会,以后有新的任务交给你,华芯这边的账,有专业团队去做,你别再管了。”
“行吧,路阳,我感觉自己就是个拖后腿的,你跟老周忙成那样,我却连这点小事都做不好。”
“小事?上百亿的账务,要是没你,华芯展不会这么快,这么多家公司快整合,你是关键,如果不是接下来的事太过重要,我也不会让你去。”
季一楠一听,果然好转很多,“什么事情?”
路阳想起郎廷的安排,说道:“你带人去找大概1o家左右的高校,成立半导体芯片研究课题,具体的名单与研究方向我回头给你,这是工信部的安排,以华芯的名义跟高校展开合作,做好人才储备,以后你就改做猎头了,哈哈。”
“研项目基金?”季一楠很聪明,一听便知道这其中的门道。
“资金只是一方面,人才储备才是我们的基础,半导体行业还是太缺人才了。”
像张茹京,梁孟松那样的天降猛男,路阳求不来,但他有系统,可以弥补这方面的不足,所以对于基础人才需求量巨大,高校的合作布局至关重要。
季一楠终于恢复干劲,“好的,交给我了,上面有说多少资金量吗?”
你的病情是因为缺钱吧,合着刚才那些话都白说了,是吗,路阳内心吐槽,看到一脸期待的眼神,于心不忍,
“前期应该有2oo亿吧!”
垂死病中惊坐起指的就是她吧,只见季一楠猛地从沙上跳起来,回房间就要收拾东西。
“回来,回来,你干嘛?”
“收拾东西出啊,你不知道,体系内的资金申报流程有多复杂,早些搞完,资金才能越早到。”
“坐下,季一楠,你平时的聪明劲呢,这不是申请,而是已经确认的事情,只是找个由头而已,你要相信上面,会有绿色通道的。”
季一楠的身份转变太过突然,26岁的年纪一下接受这么大任务,独立思考的能力还是不够。
像老周就很快适应这种转变,路阳对他的依靠越来越重了,关键时刻老周是真能顶事。
路阳决定跟季一楠好好谈谈,让她找准以后在团队中的定位,这一谈就是一个下午,两人的都感觉到放松了很多!
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